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- ¿Ã³¸® ·Î °ü¸®: AMS 2750 Rev. E Type B
- À¯È¿ ÀÛ¾÷ °ø°£: Á÷°æ 1500mm, ³ôÀÌ 1500mm, ÇÏÁß ÃÖ´ë 1500kg
- Áø°øµµ: ÃÖ´ë 0.01 micron (10-5 Torr)
- ÀÛ¾÷¿Âµµ: ÃÖ°í 1250¡É
- ³Ã°¢: Argon Gas ÃÖ´ë 2 Bar