Slit Nozzle
디스플레이 산업 부품 - 슬릿노즐(Slit Nozzle)
일반적으로 TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display),. PDP, 유기 EL 등과 같은 디스플레이 패널의 제조 공정은 패널 상에 증착된 박막을 패터닝(Patterning)하기 위해 채용한 사진석판인쇄법(Photo Lithography)에 따른 일련의 공정과, 포토 레지스트(Photo Resistor) 도포, 노광, 현상, 식각, 세정 등과 같은 단위 공정이 이루어진다.
상기 공정들 중, 포토 레지스트 도포 공정에서 코팅액인 포토 레지스트를 디스플레이 패널의 표면에 도포하는 장치로서 슬릿노즐(Slit Nozzle)이 사용된다.
상기 슬릿 노즐은 공정 중, 립(Lip) 부위의 스크레치 또는 마모가 발생되게 되는데, 이때 손상된 부분에 의해 디스플레이 패널 상면에 코팅 불량을 초래하게 되며, 고가의 부품(슬릿노즐)의 교체 비용이 많이 소요되는 문제점이 있다.
이에, 자사에서는 포토 공정의 품질향상 및 부품 수명 향상 등의 목적으로, 슬릿노즐 Lip 부위의 내마모 및 내스크레치 특성을 향상시켜주는 고밀도 WC 코팅을 개발, 적용하고 있다.
또한, Lip 부위의 마모로 인해 더 이상 사용하지 못하는 부품을 재생, 복원하는 기술을 개발하여 고객사 원가절감에 크게 기여할 수 있는 토대를 마련하였다.
